29.045. Полупроводниковые материалы
- ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа
- ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия
- ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа
- ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция
- ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана
- ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
- ГОСТ 2169-69 Кремний технический. Технические условия
- ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
- ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
- ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора
- ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора
- ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
- ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана
- ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
- ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния