ГОСТ 5197-85
(СТ СЭВ 4751-84,
СТ СЭВ 4839-84,
СТ СЭВ 4840-84)
Группа Т00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА
Термины и определения
Vacuum technology. Terms and definitions
ОКСТУ 6360
Дата введения 1986-07-01
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1985 г. N 3743 срок введения установлен с 01.07.86
ВЗАМЕН ГОСТ 5197-70
Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники.
Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу действия стандартизации или использующих результаты этой деятельности.
Настоящий стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 4840-84.
Стандарт соответствует СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84 в части, указанной в справочном приложении 2.
Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.
Применение терминов - синонимов стандартизованного термина не допускается.
Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значение используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в данном стандарте.
В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приведено и в графе "Определение" поставлен прочерк.
В стандарте в качестве справочных приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на немецком (D), английском (Е), французском (F) языках.
В стандарте имеется справочное приложение терминов общетехнических понятий, применяемых в вакуумной технике.
В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и иноязычных эквивалентов.
Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом.
Термин | Определение | |
ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ | ||
1. Вакуум D. Vakuum Е. Vacuum F. Vide | Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного | |
2. Вакуумная техника D. Vakuumtechnik Е. Vacuum technology F. Technique du vide | Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений | |
3. Степень вакуума D. Vakuumbereiche Е. Ranges of vacuum F. Domaines de vide | Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса. Примечание. Принимают следующие интервалы давлений: от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума; от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума; от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума; ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума | |
4. Вакуумное масло D. Е. Vacuum pump oil F. Huile de pompe | Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах | |
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ | ||
5. Вакуумная система D. Vakuumsystem Е. Vacuum system F. | Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов | |
6. Вакуумная установка D. Vakuumanlage Е. Vacuum plant F. Installation de vide | Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие | |
7. Вакуумный агрегат D. Vakuumeinheit Е. Vacuum unit F. | Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое | |
8. Откачной пост D. Pumpstand Е. Pumping station F. Stand de pompage | Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий | |
9. Откачиваемый вакуумный сосуд D. Vakuumkamer Е. Pumped container F. Enceinte | Сосуд, в котором создается вакуум | |
10. Элемент вакуумной системы D. Vakuumsystemselement Е. Element of vacuum system F. Element du | - | |
11. Вакуумный насос D. Vakuumpumpe Е. Vacuum pump F. Pompe | Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума | |
12. Вакуумная ловушка D. Falle Е. Trap F. | Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления | |
13. Вакуумный клапан D. Vakuumventil Е. Vacuum valve F. Soupape de vide | Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему | |
14. Вакуумный затвор D. Vakuumschlensenventil Е. Vacuum gate valve F. | Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы | |
15. Напускной вакуумный клапан D. Beluftungsvakuumventil Е. Admittance vacuum valve F. Robinet | Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему | |
16. Вакуумный натекатель D. Nadelvakuumventil E. Air admittance vacuum valve F. Robinet | Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки | |
17. Вакуумный ввод D. E. Vacuum feedthrough F. Passage du vide | Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума | |
18. Вакуумный трубопровод D. Vakuumrohrleitung E. Vacuum pipework F. Conduite | Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ | |
19. Форвакуумный трубопровод D. Vorpumpenrohrleitung E. Backing line F. Conduite | Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу | |
20. Байпасный трубопровод D. Umwegleitung E. Bypass line F. Conduite by-pass | Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос | |
21. Вакуумное защитное устройство D. Vakuumsicherheitsvorrichtung E. Vacuum protective device F. Dispositif de | Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части | |
22. Уравнительный вакуумный баллон D. Druckausgleichskolben E. Equal vessel F. Ballon | Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней | |
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ | ||
23. Низковакуумный насос D. Grobvakuumpumpe E. Rough vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума | |
24. Высоковакуумный насос D. Endvakuumpumpe E. High vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов | |
25. Форвакуумный насос D. Vorvakuumpumpe E. Backing vacuum pump F. Pompe primaire pour Ie vide | Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки | |
26. Бустерный вакуумный насос D. Boostervakuumpumpe E. Booster vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса | |
27. Вакуумный насос предварительного разрежения D. Vorvakuumpumpe E. Roughing vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов | |
ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ | ||
28. Газоперекачивающий вакуумный насос D. Gastransfervakuumpumpe E. Pump for gas transporting F. Pompe | Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля | |
29. Механический вакуумный насос D. Rotationsvakuumpumpe E. Vacuum mechanical pump F. Pompe | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса | |
30. Вакуумный насос объемного действия D. E. Positive displacement vacuum pump F. Pompe | Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу | |
31. Поршневой вакуумный насос D. Hubkolbenvakuumpumpe Е. Piston vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня | |
32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением D. Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость | |
33. Газобалластный вакуумный насос D. Gasballastvakuumpumpe Е. Gas ballast vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе | |
34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем D. Trockenlaufende Vakuumpumpe Е. Dry-sealed vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения | |
35. Вращательный вакуумный насос D. Е. Rotary vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора | |
36. Пластинчато-роторный вакуумный насос D. Drehschiebervakuumpumpe Е. Sliding vane rotary vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом | |
37. Пластинчато-статорный вакуумный насос D. Drehkolbenvakuumpumpe Е. Rotary piston vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом | |
38. Плунжерный вакуумный насос D. Sperrschiebervakuumpumpe Е. Rotary plunger vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора | |
39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос D. Е. Liquid ring vacuum pump F. Pompe | Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом | |
40. Двухроторный вакуумный насос D. Е. Roots vacuum pump F. | Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях | |
41. Трохоидный вакуумный насос D. Kreiskolbenvakuumpumpe Е. Trochoid pump F. Pompe trochoide | Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды | |
42. Кинетический вакуумный насос D. Kinetische Vakuumpumpe Е. Kinetic vacuum pump F. Pompe | Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса | |
43. Вакуумный турбонасос D. Turbovakuumpumpe Е. Turbine vacuum pump F. | Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей | |
44. Осевой вакуумный турбонасос D. Axialische Turbovakuumpumpe Е. Axial flow turbine vacuum pump F. | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения | |
45. Центробежный вакуумный турбонасос D. Radialische Turbovakuumpumpe Е. Radial flow turbine vacuum pump F. | Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении | |
46. Струйный вакуумный насос D. Treibmittelvakuumpumpe Е. Jet kinetic vacuum pump F. Pompe | Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа | |
47. Жидкостно-струйный вакуумный насос D. Е. Liquid jet vacuum pump F. Pompe | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости | |
48. Газоструйный вакуумный насос D. Gasstrahlvakuumpumpe Е. Gas jet vacuum pump F. Ejecteur | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа | |
49. Пароструйный вакуумный насос D. Dampfstrahlvakuumpumpe Е. Vapour jet vacuum pump F. Ejecteur | Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара | |
50. Эжекторный вакуумный насос D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe Е. Ejector vacuum pump F. Pompe | Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей | |
51. Диффузионный вакуумный насос D. Diffusionsvakuumpumpe Е. Diffusion pump F. Pompe | Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю | |
52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос D. Diffusionsjekterpumpe Е. Diffusion-ejector pump F. Pompe | Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей | |
53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос D. Selbstreinigende Е. Self purifying diffusion pump F. Pompe | Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу | |
54. Фракционный диффузионный вакуумный насос D. Fraktionierende Е. Fractionating diffusion pump F. Pompe | Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара | |
55. Ионный вакуумный насос D. lonentransferpumpe Е. Ion transfer vacuum pump F. Pompe | Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля | |
ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ | ||
56. Газоулавливающий вакуумный насос D. Gasbindende Vakuumpumре Е. Entrapment vacuum pump F. Pompe | Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса | |
57. Сорбционный вакуумный насос D. Sorptionspumpe Е. Sorption vacuum pump F. Pompe | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа | |
58. Адсорбционный вакуумный насос D. Adsorptionspumpe Е. Adsorption vacuum pump F. Pompe | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре | |
59. Геттерный вакуумный насос D. Gettervakuumpumpe Е. Getter vacuum pump F. Pompe | Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером | |
60. Испарительный геттерный вакуумный насос D. Sublimations getter vakuumpumpe Е. Sublimation vacuum pump F. Pompe | Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера | |
61. Геттерно-ионный вакуумный насос D. lonengettervakuumpumpe Е. Getter ion vacuum pump F. Pompe | Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера | |
62. Испарительно-ионный вакуумный насос D. lonenverdampfervakuumpumpe Е. Sublimation ion vacuum pump F. Pompe | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения | |
63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос D. Е. Sputter ion pump F. Pompe ionique | Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле | |
64. Конденсационный вакуумный насос D. Kondensationspumpe Е. Condenserpump F. Pompe condenser | Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях | |
65. Вакуумный крионасос D. Kryovakuumpumpe Е. Cryopump F. Pompe cryostatique | Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур | |
66. Комбинированный вакуумный насос D. Vakuumpumpkombination Е. Combined vacuum pump F. Pompe | Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе | |
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК | ||
67. Конденсационная вакуумная ловушка D. Е. Cold trap F. | Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях | |
68. Сорбционная вакуумная ловушка D. Sorptionsfalle Е. Sorption trap F. | Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента | |
69. Ионная вакуумная ловушка D. lonisierungsfalle Е. Ion trap F. | Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация | |
ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ | ||
70. Быстрота откачки D. Е. Pumping rate F. | Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении | |
71. Быстрота действия вакуумного насоса D. Е. Volume flow rate of vacuum pump F. | Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе | |
72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса D. Startdruck Е. Starting pressure F. Pression d'amorcage | Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать | |
73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса D. Maximal Е. Maximum backing pressure F. Pression maximale de refoulement | Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку | |
74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса D. Maximaler Arbeitsdruck Е. Maximum working pressure F. Pression maximale de fonctiounement | Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия | |
75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса D. Enddruck einer Vakuumpumpe Е. Ultimate pressure of vacuum pump F. Pression limite d'une pompe | Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе | |
76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды D. Maximal Е. Maximum rate of handling water vapour F. | Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях | |
77. Наибольшее допустимое давление паров воды D. Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure F. Pression maximale | Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях | |
78. Степень сжатия вакуумного насоса D. Е. Compression ratio F. Taux de compression | Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия | |
ВАКУУММЕТРЫ | ||
79. Вакуумметр D. Vakuummeter Е. Vacuummeter F. | По ГОСТ 8.271-77 | |
80. Абсолютный вакуумметр D. Absolutes Vakuummeter Е. Absolute vacuum gauge F. | Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам | |
81. Дифференциальный вакуумметр D. Differenzdruckvakuummeter Е. Differential vacuum gauge F. | Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента | |
82. Измерительный преобразователь давления D. Druckmessunformer Е. Gauge pressure transducer F. Transducteur de mesure pression | По ГОСТ 8.271-77 | |
83. Измерительный блок вакуумметра D. Betriebs und Е. Gauge control unit F. Coffret d'alimentation et de mesure | Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра | |
84. Отсчетное устройство вакуумметра D. Е. Gauge indicating unit F. Dispositif indicateur | Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины | |
85. Вакуумметр полного давления D. Totaldruckvakuummeter Е. Total pressure vacuum gauge F. | Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси | |
86. Жидкостный вакуумметр D. Е. Liquid level manometer F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости | |
87. U-образный вакуумметр D. U-leitung Vakuummeter Е. U-tube vacuum gauge F. Avec unetube en U- | Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости | |
88. Компрессионный вакуумметр D. Kompressionsvakuummeter Е. Compression gauge F. | Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию | |
89. Деформационный вакуумметр D. Federelastisches Vakuummeter Е. Elastic element gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления | |
90. Мембранный вакуумметр D. Membranvakuummeter Е. Diaphragm gauge F. | Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка | |
91. Грузопоршневый вакуумметр D. Druckwaage Е. Pressure balance F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения | |
92. Вязкостный вакуумметр D. Reibungsvakuummeter Е. Viscosity gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления | |
93. Тепловой вакуумметр D. Е. Thermal conductivity gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления | |
94. Термопарный вакуумметр D. Thermokreuz Е. Thermocouple gauge F. | Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления | |
95. Вакуумметр сопротивления D. Thermistor-Vakuummeter Е. Thermistor gauge F. | Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа | |
96. Термомолекулярный вакуумметр D. Molekularvakuummeter Е. Thermo-molecular gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру | |
97. Ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter Е. lonisation vacuum gauge F. | Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления | |
98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle Е. Radioactive ionization gauge F. | Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников | |
99. Магнитный электроразрядный вакуумметр D. Е. Sputter ion gauge F. | Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления | |
100. Вакуумметр Пеннинга D. Penningvakuummeter Е. Penning gauge F. | Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами | |
101. Электронный ионизационный вакуумметр D. Elektronenionisations Vakuummeter Е. Electronic type ionization vacuum F. | Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем | |
102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor Е. Twin-wire oscillator gauge F. | Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки | |
103. Экстракторный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System E. Extractor gauge F. | Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации | |
104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode E. Cold cathode magnetron gauge F. | Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов | |
105. Индикатор с разрядной трубкой D. E. Discharge tube indicator F. Tube | Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа | |
106. Вакуумметр парциального давления D. Partialdruckvakuummeter E. Partial pressure vacuum gauge F. Analyseur de pressions partielles | Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры. Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы | |
107. Масс-спектрометр D. Massenspektrometer E. Mass spectrometer F. | По ГОСТ 15624-75 | |
ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ | ||
108. Диапазон измерений D. E. Pressure range F. Etendue de mesurage | По ГОСТ 16263-70*. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота | |
________________ * На территории Российской Федерации действуют РМГ 29-99. Здесь и далее по тексту. - . | ||
109. Чувствительность D. Empfindlichkeit E. Sensitivity F. | По ГОСТ 16263-70. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота | |
110. Относительная чувствительность вакуумметра D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit E. Relative sensitivity factor F. Facteur de | Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения | |
111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters E. lonization gauge coefficient F. Coefficient d'un | Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления | |
112. Эквивалентное азотное давление D. Stickstoffaquivalentdruck E. Equivalent nitrogen pressure F. Pression | Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом | |
113. Фоновое давление вакуумметра D. Untergrunddruck E. Background pressure F. Pression residuelle | Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления | |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ
Агрегат вакуумный | 7 |
Баллон вакуумный уравнительный | 22 |
Блок вакуумметра измерительный | 83 |
Быстрота действия вакуумного насоса | 71 |
Быстрота откачки | 70 |
Вакуум | 1 |
Вакуумметр | 79 |
Вакуумметр абсолютный | 80 |
Вакуумметр вязкостный | 92 |
Вакуумметр грузопоршневой | 91 |
Вакуумметр деформационный | 89 |
Вакуумметр дифференциальный | 81 |
Вакуумметр жидкостный | 86 |
Вакуумметр ионизационный | 97 |
Вакуумметр ионизационный радиоизотопный | 98 |
Вакуумметр ионизационный электронный | 101 |
Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем | 104 |
Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором | 102 |
Вакуумметр компрессионный | 88 |
Вакуумметр магнитный электроразрядный | 99 |
Вакуумметр мембранный | 90 |
Вакуумметр парциального давления | 106 |
Вакуумметр Пеннинга | 100 |
Вакуумметр полного давления | 86 |
Вакуумметр сопротивления | 95 |
Вакуумметр тепловой | 93 |
Вакуумметр термомолекулярный | 96 |
Вакуумметр термопарный | 94 |
Вакуумметр U-образный | 87 |
Вакуумметр экстракторный | 103 |
Ввод вакуумный | 17 |
Давление вакуумметра фоновое | 113 |
Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее | 73 |
Давление вакуумного насоса предельное остаточное | 75 |
Давление запуска вакуумного насоса наибольшее | 72 |
Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее | 74 |
Давление паров воды наибольшее допустимое | 77 |
Давление эквивалентное азотное | 112 |
Диапазон измерений | 108 |
Затвор вакуумный | 14 |
Индикатор с разрядной трубкой | 105 |
Клапан вакуумный | 13 |
Клапан вакуумный напускной | 15 |
Крионасос вакуумный | 65 |
Ловушка вакуумная | 12 |
Ловушка вакуумная ионная | 69 |
Ловушка вакуумная конденсационная | 67 |
Ловушка вакуумная сорбционная | 68 |
Масло вакуумное | 4 |
Масс-спектрометр | 107 |
Насос вакуумный | 11 |
Насос вакуумный адсорбционный | 58 |
Насос вакуумный бустерный | 26 |
Насос вакуумный вращательный | 35 |
Насос вакуумный газобалластный | 33 |
Насос вакуумный газоперекачивающий | 28 |
Насос вакуумный газоструйный | 48 |
Насос вакуумный газоулавливающий | 56 |
Насос вакуумный геттерный | 59 |
Насос вакуумный геттерный испарительный | 60 |
Насос вакуумный геттерно-ионный | 61 |
Насос вакуумный двухроторный | 40 |
Насос вакуумный диффузионный | 51 |
Насос вакуумный диффузионно-эжекторный | 52 |
Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся | 53 |
Насос вакуумный диффузионный фракционный | 54 |
Насос вакуумный жидкостно-кольцевой | 39 |
Насос вакуумный жидкостно-струйный | 47 |
Насос вакуумный ионный | 55 |
Насос вакуумный испарительно-ионный | 62 |
Насос вакуумный кинетический | 42 |
Насос вакуумный комбинированный | 66 |
Насос вакуумный конденсационный | 64 |
Насос вакуумный магнитный электроразрядный | 63 |
Насос вакуумный механический | 29 |
Насос вакуумный объемного действия | 30 |
Насос вакуумный пароструйный | 49 |
Насос вакуумный пластинчато-роторный | 36 |
Насос вакуумный пластинчато-статорный | 37 |
Насос вакуумный плунжерный | 38 |
Насос вакуумный поршневой | 31 |
Насос вакуумный предварительного разрежения | 27 |
Насос вакуумный с масляным (жидкостным) уплотнением | 32 |
Насос вакуумный с сухим уплотнением | 34 |
Насос вакуумный сорбционный | 57 |
Насос вакуумный струйный | 46 |
Насос вакуумный трохоидный | 41 |
Насос вакуумный эжекторный | 50 |
Насос высоковакуумный | 24 |
Насос низковакуумный | 23 |
Насос форвакуумный | 25 |
Натекатель вакуумный | 16 |
Преобразователь давления измерительный | 82 |
Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая | 76 |
Пост откачной | 8 |
Система вакуумная | 5 |
Сосуд откачиваемый вакуумный | 9 |
Степень вакуума | 3 |
Степень сжатия вакуумного насоса | 78 |
Техника вакуумная | 2 |
Трубопровод байпасный | 20 |
Трубопровод вакуумный | 18 |
Трубопровод форвакуумный | 19 |
Турбонасос вакуумный | 43 |
Турбонасос вакуумный осевой | 44 |
Турбонасос вакуумный центробежный | 45 |
Установка вакуумная | 6 |
Устройство вакуумметра отсчетное | 84 |
Устройство защитное вакуумное | 21 |
Чувствительность | 109 |
Чувствительность вакуумметра относительная | 110 |
Чувствительность ионизационного вакуумметра приведенная | 111 |
Элемент вакуумной системы | 10 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ
Absolutes Vakuummeter | 80 |
Adsorptionspumpe | 58 |
84 | |
Axialische Turbovakuumpumpe | 44 |
Beluftungsvakuumventil | 15 |
Betriebs und | 83 |
Boostervakuumpumpe | 26 |
Dampfstrahlvakuumpumpe | 49 |
Differenzdruckvakuummeter | 81 |
Diffusionsjekterpumpe | 52 |
Diffusionsvakuumpumpe | 51 |
Drehkolbenvakuumpumpe | 37 |
Drehschiebervakuumpumpe | 36 |
Druckausgleichskolben | 22 |
Druckmessunformer | 82 |
Druckwaage | 91 |
Elektronenionisations Vakuummeter | 101 |
Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor | 102 |
Empfindlichkeit | 109 |
Enddruck einer Vakuumpumpe | 75 |
Endvakuumpumpe | 24 |
Falle | 12 |
Federelastisches Vakuummeter | 89 |
39 | |
47 | |
86 | |
Fraktionierende | 54 |
Gasballastvakuumpumpe | 33 |
Gasbindende Vakuumpumpe | 56 |
Gasstrahlvakuumpumpe | 48 |
Gastransfervakuumpumpe | 28 |
Gettervakuumpumpe | 59 |
Grobvakuumpumpe | 23 |
105 | |
Hubkolbenvakuumpumpe | 31 |
lonengettervakuumpumpe | 61 |
lonentransferpumpe | 55 |
lonenverdampfervakuumpumpe | 62 |
63 | |
99 | |
lonisationsvakuummeter | 97 |
lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System | 103 |
lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle | 98 |
lonisierungsfalle | 69 |
Kinetische Vakuumpumpe | 42 |
Kompressionsvakuummeter | 88 |
78 | |
Kondensationspumpe | 64 |
Kreiskolbenvakuumpumpe | 41 |
Kryovakuumpumpe | 65 |
67 | |
Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode | 104 |
Massenspektrometer | 107 |
Maximal | 76 |
Maximal | 73 |
Maximaler Arbeitsdruck | 74 |
Membranvakuummeter | 90 |
108 | |
Molekularvakuummeter | 96 |
Nadelvakuumventil | 16 |
32 | |
Partialdruckvakuummeter | 106 |
Penningvakuummeter | 100 |
71 | |
Pumpstand | 8 |
Radialische Turbovakuumpumpe | 45 |
Reibungsvakuummeter | 92 |
Relative Vakuummeterempfundlichkeit | 110 |
Rotationsvakuumpumpe | 29 |
35 | |
70 | |
Selbstreinigende | 53 |
Sorptionsfalle | 68 |
Sorptionspumpe | 57 |
Sperrschiebervakuumpumpe | 38 |
Startdruck | 72 |
Stickstoffaquivalentdruck | 112 |
Sublimationsgettervakuumpumpe | 60 |
Thermistor-Vakuummeter | 95 |
Thermokreuz | 94 |
Totaldruckvakuummeter | 85 |
Treibmittelstrachlvakuumpumpe | 50 |
Treibmittelvakuumpumpe | 46 |
Trockenlaufende Vakuumpumpe | 34 |
Turbovakuumpumpe | 43 |
U-leitung Vakuummeter | 87 |
Umwegleitung | 20 |
Untergrunddruck | 113 |
Vakuum | 1 |
Vakuumanlage | 6 |
Vakuumbereiche | 3 |
17 | |
Vakuumeinheit | 7 |
Vakuumkamer | 9 |
Vakuummeter | 79 |
Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters | 111 |
Vakuumpumpe | 11 |
4 | |
Vakuumpumpkombination | 66 |
Vakuumrohrleitung | 18 |
Vakuumschlensenventil | 14 |
Vakuumsicherheitsvorrichtung | 21 |
Vakuumsystem | 5 |
Vakuumsystemselement | 10 |
Vakuumtechnik | 2 |
Vakuumventil | 13 |
30 | |
Vorpumpenrohrleitung | 19 |
Vorvakuumpumpe | 25, 27 |
40 | |
93 | |
77 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ
Absolute vacuum gauge | 80 |
Admittance vacuum valve | 15 |
Adsorption vacuum pump | 58 |
Air admittance vacuum valve | 16 |
Axial flow turbine vacuum pump | 44 |
Background pressure | 113 |
Backing line | 19 |
Backing vacuum pump | 25 |
Booster vacuum pump | 26 |
Bypass line | 20 |
Cold cathode magnetron gauge | 104 |
Cold trap | 67 |
Combined vacuum pump | 66 |
Compression gauge | 88 |
Compression ratio | 78 |
Condenserpump | 64 |
Cryopump | 65 |
Diaphragm gauge | 90 |
Differential vacuum gauge | 81 |
Diffusion-ejector pump | 52 |
Diffusion pump | 51 |
Discharge tube indicator | 105 |
Dry-sealed vacuum pump | 34 |
Ejector vacuum pump | 50 |
Elastic element gauge | 89 |
Electronic type ionization vacuum | 101 |
Element of vacuum system | 10 |
Entrapment vacuum pump | 56 |
Equal vessel | 22 |
Equivalent nitrogen pressure | 112 |
Extractor gauge | 103 |
Fractionating diffusion pump | 54 |
Gas ballast vacuum pump | 33 |
Gas jet vacuum pump | 48 |
Gauge control unit | 83 |
Gauge indicating unit | 84 |
Gauge pressure transducer | 82 |
Getter ion vacuum pump | 61 |
Getter vacuum pump | 59 |
High vacuum pump | 24 |
Ion transfer vacuum pump | 55 |
Ion trap | 69 |
Ionization gauge coefficient | 111 |
Ionization vacuum gauge | 97 |
Jet kinetic vacuum pump | 46 |
Kinetic vacuum pump | 42 |
Liquid jet vacuum pump | 47 |
Liquid level manometer | 86 |
Liquid ring vacuum pump | 39 |
Mass spectrometer | 107 |
Maximum backing pressure | 73 |
Maximum rate of handling water vapour | 76 |
Maximum tolerable water vapour inlet pressure | 77 |
Maximum working pressure | 74 |
Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump | 32 |
Partial pressure vacuum gauge | 106 |
Penning gauge | 100 |
Piston vacuum pump | 31 |
Positive displacement vacuum pump | 30 |
Pressure balance | 91 |
Pressure range | 108 |
Pumped container | 9 |
Pumping rate | 70 |
Pumping station | 8 |
Pump for gas transporting | 28 |
Radial flow turbine vacuum pump | 45 |
Radioactive ionization gauge | 98 |
Ranges of vacuum | 3 |
Relative sensitivity factor | 110 |
Roots vacuum pump | 40 |
Rotary piston vacuum pump | 37 |
Rotary plunger vacuum pump | 38 |
Rotary vacuum pump | 35 |
Rough vacuum pump | 23 |
Roughing vacuum pump | 27 |
Self purifying diffusion pump | 53 |
Sensitivity | 109 |
Sliding vane rotary vacuum pump | 36 |
Sorption trap | 68 |
Sorption vacuum pump | 57 |
Sputter ion gauge | 99 |
Sputter ion pump | 63 |
Starting pressure | 72 |
Sublimation ion vacuum pump | 62 |
Sublimation vacuum pump | 60 |
Thermal conductivity gauge | 93 |
Thermistor gauge | 95 |
Thermocouple gauge | 94 |
Thermo-molecular gauge | 96 |
Total pressure vacuum gauge | 85 |
Trap | 12 |
Trochoid pump | 41 |
Turbine vacuum pump | 43 |
Twin-wire oscillator gauge | 102 |
Ultimate pressure of vacuum pump | 75 |
U-tube vacuum gauge | 87 |
Vacuum | 1 |
Vacuum feedthrough | 17 |
Vacuum gate valve | 14 |
Vacuum mechanical pump | 29 |
Vacuum pipework | 18 |
Vacuum plant | 6 |
Vacuum protective device | 21 |
Vacuum pump | 11 |
Vacuum pump oil | 4 |
Vacuum system | 5 |
Vacuum technology | 2 |
Vacuum unit | 7 |
Vacuum valve | 13 |
Vacuummeter | 79 |
Vapour jet vacuum pump | 49 |
Viscosity gauge | 92 |
Volume flow rate of vacuum pump | 71 |
АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА ФРАНЦУЗСКОМ ЯЗЫКЕ
Analyseur de pressions partielles | 106 |
Avec unetube en U- | 87 |
Ballon | 22 |
76 | |
Coefficient d'un | 111 |
Coffret d'alimentation et de mesure | 83 |
Conduite bypass | 20 |
Conduite | 18 |
Conduite | 19 |
71 | |
70 | |
43 | |
44 | |
45 | |
40 | |
Dispositif de | 21 |
Dispositif indicateur | 84 |
Domaines de vide | 3 |
Ejecteur | 48 |
Ejecteur | 49 |
Element du | 10 |
Enceinte | 9 |
Etendue de mesurage | 108 |
Facteur de | 110 |
Huile de pompe | 4 |
Installation de vide | 6 |
88 | |
93 | |
89 | |
81 | |
102 | |
103 | |
97 | |
101 | |
86 | |
90 | |
91 | |
98 | |
95 | |
94 | |
79 | |
92 | |
80 | |
100 | |
85 | |
81 | |
99 | |
104 | |
96 | |
Passage du vide | 17 |
12 | |
68 | |
69 | |
67 | |
Pompe | 51 |
Pompe | 53 |
Pompe | 52 |
Pompe | 54 |
Pompe | 55 |
Pompe | 11 |
Pompe | 39, 47 |
Pompe | 32 |
Pompe | 50 |
Pompe | 56 |
Pompe | 58 |
Pompe | 33 |
Pompe | 46 |
Pompe | 36 |
Pompe | 31 |
Pompe | 38 |
Pompe | 37 |
Pompe | 59 |
Pompe | 57 |
Pompe | 60 |
Pompe | 42 |
Pompe | 66 |
Pompe | 28 |
Pompe | 26 |
Pompe | 61 |
Pompe | 62 |
Pompe | 23 |
Pompe | 34 |
Pompe | 24 |
Pompe | 35 |
Pompe | 30 |
Pompe condenser | 64 |
Pompe cryostatique | 65 |
Pompe ionique | 63 |
Pompe | 29 |
Pompe | 27 |
Pompe primaire pour Ie vide | 25 |
Pompe trochoide | 41 |
Pression d'amorcage | 72 |
Pression | 112 |
Pression maximale de fonctionnement | 74 |
Pression maximale de refoulement | 73 |
Pression limite d'une pompe | 75 |
Pression maximale | 77 |
Pression residuelle | 113 |
Robinet | 16 |
Robinet | 15 |
109 | |
Soupape de vide | 13 |
107 | |
Stand de pompage | 8 |
5 | |
Taux de compression | 78 |
Technique du vide | 2 |
Transducteur de mesure pression | 82 |
Tube | 105 |
7 | |
14 | |
Vide | 1 |
ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Справочное
ТЕРМИНЫ, ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКЕ
Термин | Определение |
1. Газ | Состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что вещество может занимать любое доступное пространство.
1. Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов. 2. В вакуумной технике этот термин применяют к неконденсирующемуся газу и к пару |
2. Неконденсирующийся газ | Газ, который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переведен в конденсированную фазу только путем увеличения его давления |
3. Идеальный газ | По ГОСТ 23281-78 |
4. Парциальное давление газа | Давление, оказываемое химически индивидуальным газом, содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое оказывал бы этот газ, если удалить из занимаемого газовой смесью объема остальные газы, при условии сохранения первоначальных объема и температуры |
5. Полное давление газа | Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси. Примечание. Термин применяют, если термин "Давление" четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой |
6. Давление газа на ограничивающую поверхность | Нормальная составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площадь этой поверхности. Примечание. 1. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока. 2. Термин "Давление" без дополнительных определений означает статическое давление в газе при его установившемся течении |
7. Давление в определенной точке газового пространства | Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная на величину этой площадки. Примечание. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока |
8. Количество газа | Произведение объема, занимаемого газом, находящимся в равновесном состоянии, на его давление |
9. Пар | Газ, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения |
10. Насыщенный пар | Пар, находящийся при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества |
11. Давление насыщенного пара | Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз |
12. Ненасыщенный пар | Пар, давление которого меньше давления насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре |
13. Степень насыщения пара | Отношение давления пара к давлению насыщенного пара |
14. Молекулярная концентрация | Число молекул газа в единице объема |
15. Молекулярная концентрация заданного компонента | Число молекул заданного компонента в единице объема |
16. Плотность газа | Масса единицы объема газа |
17. Плотность газа, приведенная к единице давления | Плотность газа, деленная на его давление |
18. Длина свободного пути молекул | Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами |
19. Средняя длина свободного пути молекулы | Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул |
20. Число столкновений молекул в единицу времени | Среднее арифметическое число столкновений, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул |
21. Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени | - |
22. Диффузия газа | Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации. Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсированная фаза |
23. Коэффициент диффузии газа | По ГОСТ 23281-78 |
24. Течение газа | Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах |
25. Ламинарное течение | По ГОСТ 23281-78 |
26. Турбулентное течение | По ГОСТ 23281-78 |
27. Вязкостное течение | Течение газа в трубопроводе в условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так что поток зависит от плотности газа. Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным |
28. Пуазейлевское течение | Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения |
29. Молекулярное течение | Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода |
30. Молекулярно-вязкостное течение | Течение газа в трубопроводе при условиях, промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением |
31. Эффузионное течение | Течение газа через отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул |
32. Температурная транспирация | Течение газа между соединенными сосудами вследствие разности температур сосудов, результатом которой является образование градиента давлений |
33. Поток молекул | Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени |
34. Результирующий поток молекул | Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул, пересекающих ее в обратном направлении |
35. Плотность потока молекул | Результирующий поток молекул, деленный на площадь поверхности, которую он пересекает |
36. Массовый поток газа | Масса газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
37. Объемный поток газа | Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
38. Молярный поток газа | Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени |
39. Распределение Максвелла по скоростям | Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвелла-Больцмана. Примечание. Распределение Максвелла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям молекул газа, находящегося в состоянии равновесия при заданной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул |
40. Вероятность прохождения | Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении |
41. Проводимость элемента вакуумной системы | Свойство, характеризуемое отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений в двух указанных сечениях канала или по обеим сторонам отверстия |
42. Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость в частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии максвелловского распределения молекул по скоростям в обоих сосудах. Примечание. В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения |
43. Молекулярная проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала |
44. Сопротивление элемента вакуумной системы | Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы |
45. Сорбция | Захват газа или пара твердым телом или жидкостью |
46. Адсорбция | Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости |
47. Абсорбция | Сорбция, при которой газ диффундирует в объем твердого тела или жидкости |
48. Физическая сорбция | Сорбция под действием физических сил, при которой не образуются химические связи |
49. Хемосорбция | Сорбция, при которой происходит образование химических связей |
50. Коэффициент аккомодации | Величина, определяемая отношением средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молекулами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия |
51. Частота столкновений | Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени |
52. Скорость конденсации | Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени |
53. Скорость прилипания | Число молекул, сорбируюшихся на единице площади поверхности в единицу времени |
54. Вероятность прилипания | Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений |
55. Время удержания | Среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции |
56. Миграция | Движение молекул на поверхности |
57. Десорбция | Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом |
58. Скорость десорбции | Количество газа, десорбирующееся с единицы площади поверхности в единицу времени |
59. Скорость испарения | Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени |
60. Просачивание | Процесс прохождения газа через твердый барьер. Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления |
61. Проницаемость твердой перегородки | Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и структуры перегородки |
62. Коэффициент проницаемости газа | Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади |
63. Условный проход | Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам |
64. Манометр | По ГОСТ 8.271-77 |
65. Откачка | Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ |
66. Газовыделение | Самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум |
67. Обезгаживание | Принудительное удаление газа из материала |
68. Обратная диффузия | Диффузия газа в направлении, противоположном направлению откачки |
69. Обратная миграция | Поверхностная миграция масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении, противоположном направлению откачки |
70. Рабочее вещество | Вещество или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов в струйных вакуумных насосах |
71. Радиочастотный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в радиочастотном продольном электрическом поле |
72. Квадрупольный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами |
73. Монополярный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов |
74. Масс-спектрометр с магнитным отклонением | Масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям |
75. Циклоидальный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду |
76. Омегатронный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу |
77. Времяпролетный масс-спектрометр | Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду |
ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ О СООТВЕТСТВИИ
ГОСТ 5197-85 СТ СЭВ 4839-84 И СТ СЭВ 4751-84
Термин по ГОСТ 5197-85 | Термин по СТ СЭВ 4839-84, |
Вакуумная ловушка | Ловушка |
Вакуумное защитное устройство | Устройство задержки газового потока |
Бустерный вакуумный насос | Бустерный насос |
Вакуумный насос предварительного разрежения | Насос предварительного разрежения |
Трохоидный вакуумный насос | Трохоидальный вакуумный насос |
Струйный вакуумный насос | Струйный кинетический вакуумный насос |
Газоструйный вакуумный насос | Газоэжекторный вакуумный насос |
Пароструйный вакуумный насос | Пароэжекторный вакуумный насос |
Вакуумный крионасос | Криогенный вакуумный насос |
Испарительный геттерный вакуумный насос | Сублимационный вакуумный насос |
Рабочее вещество | Откачивающий элемент |
Конденсационная вакуумная ловушка | Конденсационная охлаждаемая ловушка |
Сорбционная вакуумная ловушка | Сорбционная ловушка |
Ионная вакуумная ловушка | Ионная ловушка |
Быстрота откачки | Быстрота откачки вакуумного насоса |
Молекулярная концентрация заданного компонента | Концентрация молекул заданного компонента |
Число столкновений в единице объема за единицу времени | Объемное число столкновений в единицу времени |
Полное давление газа | Полное давление |
Парциальное давление газа | Парциальное давление |
Массовый поток газа | Массовый расход газа |
Объемный поток газа | Объемный расход газа |
Молярный поток газа | Молярный расход газа |
Проницаемость твердой перегородки | Проницаемость |
Физическая сорбция | Физисорбция |
Средняя длина свободного пути молекул | Средняя длина свободного пробега молекул |
Проводимость элемента вакуумной системы | Проводимость |
Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы | Внутренняя проводимость |
Сопротивление элемента вакуумной системы | Сопротивление |
Проницаемость твердой перегородки | Проницаемость |
Коэффициент проницаемости газа | Коэффициент проницаемости |
Наибольшее давление запуска вакуумного насоса | Наибольшее давление запуска вакуумного насоса (начальное давление) |
Предельное остаточное давление вакуумного насоса | Предельное давление вакуумного насоса |
Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды | Производительность вакуумного насоса по водяному пару |
Наибольшее допустимое давление паров воды | Максимально допустимое впускное давление водяного пара |
Электронный текст документа
и сверен по:
М.: Издательство стандартов, 1986
